Immagine in primo piano della linea di sputtering del magnetron in linea a specchio in alluminio

Linea di sputtering magnetron in linea a specchio in alluminio

Breve descrizione:

La linea di sputtering del magnetron in linea a specchio in alluminio è progettata per un'elevata produzione di scopi di produzione di specchi di vetro.Per rivestire vetri più grandi e prendersi cura dei pannelli di vetro fragili, specialmente per le lastre di grandi dimensioni, di solito realizziamo una linea di sputtering di tipo orizzontale.È una linea di rivestimento continua del magnetron, con la camera di pompaggio ruvida anteriore e posteriore, e dopo la camera di transizione, prima e dopo la camera di pompaggio fine, una camera tampone, sala di placcatura del colore.

Target design: catodi cilindrici magnetron sputtering o/e catodi planari.

Alimentazione: alimentatore con magnetron sputtering DC o MF ad alta potenza

Sistema di azionamento: azionamento a rulli, frequenza regolabile, sistema di apertura porta camera tipo induzione.

Sistema del vuoto: pompa di diffusione (o pompa turbomolecolare) + pompa roots + pompa meccanica

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Dettagli del prodotto

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Caratteristiche principali

La linea di sputtering magnetron in linea a specchio in alluminio è solitamente dotata di più camere a vuoto per completare il rivestimento sottovuoto su lastre di vetro.
Caratteristiche principali:
dimensione del rivestimento 1.Max.glass: 2440x3660mm o personalizzato
2. Sono disponibili camere multi-vuoto e camere multi-sputtering
3. La linea di controllo magnetico orizzontale ha una struttura a estremità singola e doppia;doppia pulizia del vetro, rivestimento, rilevamento, verniciatura, asciugatura, raffreddamento possono essere completati tutti in una volta
4. La linea di rivestimento sputtering utilizza PLC per il controllo dell'intero processo ed è dotata di schermo a colori per mostrare i dati del processo di rivestimento

Strato di rivestimenti: titanio, cromo, acciaio inossidabile, alluminio, argento, rame, ecc.

Composto: TiN, TiO2, ecc.
Spessore dello strato: 5-100 nm
Trasmissione: 8-40% a lunghezze d'onda di 380-780 nm
Temperatura di deposizione: temperatura ambiente

Pressione finale dopo 8 ore di svuotamento:
Camera di blocco dell'ingresso e camera di blocco del vuoto: 5 × 10-1 Pa o inferiore
Camera tampone 1: 3×10-3 Pa o inferiore
Camera di polverizzazione: 2×10-3 Pa o inferiore
Camera tampone 2: 3×10-3 Pa o inferiore
Camera di blocco dell'uscita e camera di blocco del vuoto: 5×10-1 Pa o inferiore