Sistema di sputtering in linea
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Sistema di magnetron sputtering in linea
Il sistema Inline Magnetron Sputtering è una sorta di apparecchiatura per la deposizione di film sottili sottovuoto che funziona per scopi diversi.Le applicazioni più comuni della nostra linea di sputtering includono:
Produzione di specchi in alluminio
- Rivestimento in vetro ITO
- Vetro antiriflesso
- Rivestimenti decorativi per acciaio inossidabile e vetro
Questo sistema di rivestimento è adatto per applicazioni di rivestimento sottovuoto di alta classe.Produce prestazioni di lavoro stabili per migliorare la qualità dei film di rivestimento sottovuoto.
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Linea di rivestimento per sputtering di magnetron in vetro ITO
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line adotta la tecnologia di sputtering del magnetron sotto vuoto e la tecnologia di sputtering del magnetron sbilanciato per rivestire vetro float di alta qualità con strato SO2/ITO.Basato su un sistema di controllo avanzato internazionale.L'intero processo di produzione funziona automaticamente e continuamente.
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Linea di sputtering magnetron in linea a specchio in alluminio
La linea di sputtering del magnetron in linea a specchio in alluminio è progettata per un'elevata produzione di scopi di produzione di specchi di vetro.Per rivestire vetri più grandi e prendersi cura dei pannelli di vetro fragili, specialmente per le lastre di grandi dimensioni, di solito realizziamo una linea di sputtering di tipo orizzontale.È una linea di rivestimento continua del magnetron, con la camera di pompaggio ruvida anteriore e posteriore, e dopo la camera di transizione, prima e dopo la camera di pompaggio fine, una camera tampone, sala di placcatura del colore.
Target design: catodi cilindrici magnetron sputtering o/e catodi planari.
Alimentazione: alimentatore con magnetron sputtering DC o MF ad alta potenza
Sistema di azionamento: azionamento a rulli, frequenza regolabile, sistema di apertura porta camera tipo induzione.
Sistema del vuoto: pompa di diffusione (o pompa turbomolecolare) + pompa roots + pompa meccanica
