-Una/Due Porte
Telaio e camera sono realizzati in acciaio inossidabile al carbonio.
Ogni porta fornisce una finestra di ispezione per il controllo visivo del processo.Le pareti della porta forniscono un rivestimento in acciaio inossidabile facilmente rimovibile per la manutenzione.
- Camera a vuoto personalizzata
La camera fornisce rivestimenti interni in acciaio inossidabile facilmente rimovibili per la pulizia.
Le pompe stanno sulla sua parte posteriore.
La camera ha una serie di piccole flange per la misurazione.
-Sistema di pompaggio ad alto vuoto
Pompa di diffusione+Pompa booster+Pompa meccanica
-Misurazione e controllo del vuoto
Con calibro Pirani in metallo + misuratore di ionizzazione in metallo
- Sistema di movimentazione degli infissi
-Unità di controllo PLC
-Sistema di evaporazione in alluminio con trasformatore ad alta potenza
-Telaio in ferro
La struttura è ragionevole
Lo strato di pellicola è uniforme
Qualità filmogena
Elevata velocità di pompaggio, breve ciclo di lavoro e alta efficienza produttiva
Il funzionamento è conveniente
Basso consumo energetico e prestazioni stabili
Numero di modello | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Sono disponibili il modello a due porte oa due camere | |
Dimensione della camera a vuoto (diametro*altezza) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Materiale della camera a vuoto | Acciaio al carbonio, SUS304 o SUS316L | ||||||
Tecnologia di lavoro | evaporazione della resistenza al vuoto con filamenti di tungsteno e alluminio, trasformatore di evaporazione ad alta potenza | ||||||
Sistema di pompaggio | Pompa di diffusione+pompe meccaniche, pompa booster | ||||||
Tempo di pompaggio | Dall'atmosfera a 5.0*10-2Pa in meno di 8 minuti | ||||||
Limite di vuoto | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Temperatura di lavoro | Temperatura ambiente | ||||||
Modalità di lavoro | Modalità automatica o manuale, touch screen PLC da 10,4 pollici | ||||||
Potere totale | 40-80 kW | 70-140 kW | |||||
Orma | 2*2 metri | 2*3 metri | 3*3 metri | 3*3 metri | 3*4 metri | 4*5 metri | 5*6 metri |
Queste unità possono essere personalizzate | 1. Dimensione della camera a vuoto 2. Configurazioni delle pompe | ||||||
Strumenti facoltativi | 1. Rilevatore di perdite 3. Sistema di deposizione di ioni ad arco 4. Sistema di sputtering Magntron |