Le caratteristiche principali di ARC-500 sono tempi di ciclo rapidi, facilità d'uso e facilità d'uso a un prezzo vantaggioso.Ha quattro catodi di evaporazione ad arco catodico ad alte prestazioni.È la scelta ideale per i clienti che desiderano entrare nel mondo del rivestimento o che desiderano aggiungere un sistema PVD veloce a basso volume al proprio parco macchine.
Tecnologie Applicate:
Catodi di evaporazione ad arco catodico
Vantaggi:
Elevato utilizzo del target
Alto tasso di deposito
Scambio catodico rapido
• Struttura complessiva: porta anteriore verticale, porta anteriore orizzontale, sistema di pompaggio del vuoto posteriore
• Materiali: la cavità è realizzata in acciaio inossidabile SUS304 di alta qualità
• Sorgente ad arco ionico: dotata di più set di alimentazione ad arco in base alle dimensioni dell'apparecchiatura
• Alimentazione di polarizzazione: dotata di alimentazione di polarizzazione a impulsi a singolo stadio ad alta potenza
• Bersagli ad arco multiplo: set multipli di bersagli in titanio o acciaio inossidabile come standard
• Sistema di rotazione: regolazione della velocità a frequenza variabile, combinazione di rotazione e rotazione, trasmissione superiore o trasmissione inferiore.
• Sistema del vuoto (apparecchiature per rivestimento decorativo): pompa di diffusione (pompa molecolare opzionale) + pompa Roots + pompa meccanica
• Controllo del gas: sistema di controllo del flusso di massa del gas a più vie
• Sistema di riscaldamento: rivestimento decorativo 150 ℃ controllo della temperatura PID regolabile e controllabile
• Controllo intelligente: controllo intelligente PLC + interfaccia touch a colori HMI, per ottenere un controllo logico completamente automatico
• Allarme e protezione: allarme in condizioni anomale e implementazione delle misure di protezione corrispondenti.
Massimo.carico: 100 kg
4 - 6 lotti/giorno
SISTEMI A CAROSELLO MODULARE:
Carosello kicker a doppia rotazione o sistema di cambio a tripla rotazione
SOFTWARE:
Uso e manutenzione semplici
Sistema di controllo con touch screen
Registrazione dei dati e visualizzazione in tempo reale dei parametri di processo e del flusso
Controllo di processo manuale e automatico
DIMENSIONI MACCHINA:
Ingombro [mm]: L2300 x P1600 x H1950